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エステックマスフローコントローラ SEC-E50

エステックマスフローコントローラ SEC-E50

エステックマスフローコントローラ SEC-E50

商品説明・詳細
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商品情報

【画像はイメージです】
【納期について】本商品の納期は都度確認が必要な製品となっております。
長納期となる場合がございますので、ご注文前にお問い合わせください。
お問合せがなく、発送に7営業日以上の納期がかかる場合は、別途ご相談のメールを送信させていただきます。

■マスフローコントローラ SEC-E50の特長

微小流量から大流量まで対応したべーシックモデル
±1.0％フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以内の高速応答
オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性
対応ガス種：非腐食性ガス
フルスケール流量(N2)：20～30SLM
流量制御範囲：2～100％F.S.
流量制度：±1％F.S.
使用環境温度：5～50℃(精度保証15～35℃)
応答性：1秒以内(T98)
直線性：±0.5％F.S.
再現性：±0.2％F.S.
動作差圧：50～300kPa(10SCCM～5SLM)(d)、100～300kPa(10～30SLM)(d)
外部リークレート：1×10－10Pa・m3/s(He)以下
流量設定信号：0.1～5VDC/2～100％F.S.
流量出力信号：0～5VDC(0～100%F.S.)
駆動電源：+15VDC ±5％ 50mA、－15VDC ±5％ 200mA(3.9VA)
接ガス部材質：SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス
標準継手：1/4Swagelok、VCR

※専用電源ユニット(PE-D20)、接続ケーブル(SC-EDH-1M,2M,3M,5M,10M)も別途ご用意がございます

※検査成績書･校正証明書･トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途有償で発行可能。お問合せ下さい

※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい

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