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【商品説明】
【特長】●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
【用途】●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。
【仕様】●排気速度(L/min)50/60Hz:6/7●到達圧力(Pa):6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):Rc1/8●電源(V):単相200●全幅(mm):91●全長(mm):163●全高(mm):100.6
【仕様2】●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用
【材質/仕上】
【セット内容/付属品】
【注意】●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。●ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。